При процессе соединения чипов с помощью технологии флип-чип все идет хорошо, пока температурный профиль остается стабильным. Но как только происходит изменение температуры, возникают проблемы: появляются пустоты в узлах заполнителя, а контакты между чипами не сформируются правильно. Необходимо, чтобы тепло достигало нужных точек на поверхности чипа на каждом этапе процесса.
Что действительно важно Наш нагреватель для процесса флип-чип использует инфракрасное излучение коротких волн; температурный профиль на активной зоне составляет ±0,1°C. Кварцевая оболочка и геометрия отражателя рассчитаны таким образом, чтобы температура оставалась стабильной. Теперь стабильность температуры уже не является вопросом случая, а можно рассчитывать на её стабильность.
Устройство предназначено для использования в чистых комнатах класса 1–100, при этом не образуются никакие частицы. Оно может работать круглосуточно, с средним сроком службы более 5 000 часов. Погрешность температуры остается в пределах 2% на протяжении всего срока эксплуатации, что позволяет избегать потери тепловых ресурсов по мере старения устройства.
Почему устройство эффективно на практике В процессе соединения чипов с помощью технологии флип-чип нагреватель быстро приводит подложку в состояние, необходимое для процесса плавления, а затем поддерживает эту температуру. Высокая стабильность температуры сокращает количество необходимых корректировок, а быстрый ответ нагревателя сокращает время обработки без повреждения соседних элементов. Это позволяет получать лучшие результаты при формировании контактов между чипами, а также контролировать количество пустот в узлах заполнителя. Также улучшается качество прилипания компонентов на поверхность чипа на этапах обработки фотополимеров.
Это приводит к сокращению количества бракованных чипов, снижению энергозатрат и обеспечивает стабильность процесса.
На что следует обращать внимание Устройство будет функционировать корректно только при условии точного оптического выравнивания и соответствия кривой поглощения подложки. Необходимо использовать специальные крепления для устройства, а также обеспечить правильное подавление напряжения и тока. Мы проводим калибровку каждые три месяца с использованием пирометра, чтобы сохранять точность измерений. Также важно поддерживать чистоту и сухость воздуха – высокая влажность может повлиять на температурную характеристику кварца.