ในห้องผลิตชิป การอบด้วยความร้อนต่ำนั้นไม่ใช่เพียงขั้นตอนการอุ่นเครื่องเท่านั้น แต่เป็นเงื่อนไขสำคัญสำหรับการควบคุมความหนาของชั้นฟอโตรีซิสต์ด้วย หากเพิ่มหรือลดอุณหภูมิไป 0.5°C ก็จะส่งผลให้ช่วงความร้อนที่เหมาะสมเปลี่ยนไป จุดร้อนบนแผ่นอบอาจก่อให้เกิดข้อบกพร่องในการพิมพ์ชิป ซึ่งอาจส่งผลให้ชิปมีข้อบกพร่องหลังจากกระบวนการแกะสลัก หลอดไฟสำหรับการอบในเครื่องลิโธกราฟีของ Canon ถูกออกแบบมาเพื่อรักษาอุณหภูมิให้คงที่ตลอดกระบวนการผลิต
สิ่งที่สำคัญภายในอุปกรณ์ เราใช้หลอดไฟฮาโลเจนคลื่นความถี่สั้นที่อยู่ภายในฝักควอตซ์ ซึ่งมีความสามารถในการตอบสนองที่รวดเร็ว มีความเสถียรทางความร้อนสูง และมีกำลังไฟที่สม่ำเสมอ ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิบนแผ่นอบอยู่ในช่วง ±0.1°C ดังนั้นทุกจุดบนแผ่นอบจึงมีอุณหภูมิที่เหมาะสมสำหรับการพิมพ์ชิป หลอดไฟเหล่านี้ถูกออกแบบมาสำหรับเครื่องลิโธกราฟีของ Canon โดยเฉพาะ และสามารถนำมาใช้กับฝักหลอดไฟเดิมได้โดยไม่จำเป็นต้องปรับแต่งระบบควบคุมอุณหภูมิใหม่
นอกจากนี้ หลอดไฟเหล่านี้ยังทำงานได้อย่างสะอาด โดยไม่มีการก่อตัวของอนุภาคใดๆ ภายใต้สภาพแวดล้อมระดับ Class 1–100 ดังนั้นจำนวนอนุภาคจึงคงที่ตลอดกระบวนการอบ ในทางปฏิบัติ หลอดไฟเหล่านี้สามารถทำงานได้อย่างเสถียรตลอด 24 ชั่วโมง โดยมีกำลังไฟที่สม่ำเสมอเป็นเวลามากกว่า 5,000 ชั่วโมง และมีพฤติกรรมที่สามารถคาดเดาได้ ซึ่งช่วยให้สามารถวางแผนการบำรุงรักษาได้
เหตุผลที่สำคัญในการใช้หลอดไฟเหล่านี้ในกระบวนการลิโธกราฟี กระบวนการลิโธกราฟีนั้นต้องการความสม่ำเสมอในการผลิต หากหลอดไฟสามารถรักษาอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ ก็จะช่วยให้กระบวนการอบด้วยความร้อนต่ำและความร้อนสูงมีประสิทธิภาพเท่ากันในแต่ละชุดผลิตภัณฑ์ สิ่งนี้จะช่วยลดการต้องทำงานซ้ำ ช่วยควบคุมความหนาของชั้นฟอโตรีซิสต์ได้ดีขึ้น และลดของเสียที่เกิดจากการทำงานซ้ำ
นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะระบบสามารถรักษาอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็วและคงที่ และการเปลี่ยนหลอดไฟน้อยลงก็หมายถึงเวลาหยุดทำงานที่ไม่คาดคิดก็น้อยลงด้วย
สิ่งที่ควรระวังในการติดตั้งและบำรุงรักษา การติดตั้งนั้นทำได้ง่าย แต่ควรจัดการกับหลอดไฟอย่างระมัดระวังเพื่อป้องกันความเสียหายจากไฟฟ้าสถิต และควรปรับตำแหน่งหลอดไฟให้ตรงกับรูปทรงของตัวสะท้อนแสง หากมีการปรับตำแหน่งผิดพลาด ก็จะส่งผลให้เกิดความไม่สม่ำเสมอของอุณหภูมิ ควรใช้แรงดันไฟฟ้าและประเภทของขั้วต่อตามที่ระบุไว้ และต้องแน่ใจว่าทางการระบายความร้อนของฝักหลอดไฟนั้นโล่ง การควบคุมอุณหภูมิที่ฐานหลอดไฟจึงเป็นสิ่งสำคัญเพื่อรักษาความเสถียรในระยะยาว
ควรวางแผนการเปลี่ยนหลอดไฟในช่วงเวลาที่เหมาะสมสำหรับการบำรุงรักษา นี่คือวิธีที่จะช่วยรักษาเวลาการทำงานให้มีเสถียรภาพ โดยไม่มีเหตุการณ์ไม่คาดคิดเกิดขึ้น