ในกระบวนการลิโธกราฟี ขั้นตอนการอบด้วยพอลีไอมิดมีความสำคัญมาก เพราะเป็นช่วงเวลาที่กำหนดค่าขนาดของเส้นทองแดงขนาดเล็กต่างๆ การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 5°C ก็สามารถทำให้ค่าขนาดเหล่านี้เปลี่ยนไปได้หลายนาโนเมตร ซึ่งอาจส่งผลให้เส้นทองแดงเหล่านั้นเสียรูปได้ เราจึงออกแบบหลอดไฟอินฟราเรดสำหรับการอบด้วยพอลีไอมิดขึ้นมา เพื่อลดความผันผวนดังกล่าว
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค
เราใช้หลอดไฟอินฟราเรดคลื่นสั้นที่มีความสามารถในการดูดกลืนแสงของพอลีไอมิดได้ดี การตอบสนองทางความร้อนจะเกิดขึ้นอย่างรวดเร็ว ภายในเวลาไม่ถึงหนึ่งวินาที และเราสามารถรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิไว้ได้ในช่วง ±0.1°C ตัวหลอดไฟมีความเหมาะสมกับสภาพแวดล้อมในห้องสะอาดระดับ Class 1–100 โดยใช้วัสดุที่ไม่ปล่อยก๊าซออกมา และมีการออกแบบที่ช่วยลดการเกิดสิ่งสกปรก ทำให้จำนวนข้อบกพร่องอยู่ในระดับต่ำ
ขั้นตอนการอบด้วยโฟโตรีซิสต์
ขั้นตอนการอบด้วยโฟโตรีซิสต์มีความสม่ำเสมอภายในไม่กี่องศา ตลอดทั้งวัน ความเสถียรของผลลัพธ์อยู่ในช่วง 2% ตลอดเวลามากกว่า 5,000 ชั่วโมง และการควบคุมอุณหภูมิก็ทำได้อย่างแม่นยำเนื่องจากมีระบบควบคุมแบบปิด
เหตุผลที่ระบบนี้ได้ผลในโรงงานผลิต
ในโรงงานผลิตที่มีการผลิตจำนวนมาก ขั้นตอนการอบด้วยพอลีไอมิดจำเป็นต้องอยู่ภายในช่วงอุณหภูมิที่กำหนดไว้อย่างเข้มงวด หลอดไฟนี้สามารถทำงานได้อย่างรวดเร็ว ช่วยลดเวลาการอบ และลดการใช้พลังงานได้ 25–35% เมื่อเทียบกับเครื่องมืออื่นๆ คุณจึงสามารถทำงานได้เร็วขึ้น โดยยังคงควบคุมคุณภาพของผลลัพธ์ได้อยู่ และลดโอกาสเกิดข้อบกพร่องที่ต้องทำงานใหม่ได้
รายละเอียดการติดตั้ง
การติดตั้งหลอดไฟนี้ขึ้นอยู่กับการปรับให้หลอดไฟเข้ากับรูปร่างของชุดหมุนชิ้นงาน และความสามารถในการดูดกลืนแสงของด้านหลังชิ้นงาน หากทำผิดพลาด ก็จะเกิดความไม่สม่ำเสมอที่ขอบชิ้นงานได้ หลอดไฟนี้จะทำงานได้ดีที่สุดเมื่อใช้กับชิ้นงานที่สะอาดและแห้ง และมีสภาพแวดล้อมที่ควบคุมได้ดี
เวลาที่จำเป็นในการปรับแต่ง
คุณจะต้องใช้เวลาสักพักเพื่อปรับความเข้มของแสงและเวลาการอบให้เหมาะสมกับชนิดของพอลีไอมิดที่คุณใช้ หลังจากปรับเสร็จแล้ว กระบวนการก็จะมีความสม่ำเสมอ และสามารถทำซ้ำได้