ในโรงงานผลิตชิป การอบด้วยความร้อนแบบอ่อนและแบบแข็งนั้นไม่ใช่เพียงขั้นตอนทางความร้อนเท่านั้น แต่ยังเป็นกลไกในการควบคุมความหนาของชั้นซิลิคอนและความหนาแน่นของข้อบกพร่องอีกด้วย การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียงครึ่งองศาก็สามารถส่งผลต่อขนาดสำคัญของชิปได้ และการเพิ่มขึ้นของอนุภาคก็อาจทำให้ชิปเสียหายได้เช่นกัน ต้นทุนของหลอดเปลี่ยนอุณหภูมิแบบอินฟราเรดนั้นไม่ใช่เพียงแค่ค่าใช้จ่ายในการซื้อเท่านั้น แต่ยังรวมถึงผลผลิตที่ได้ ระยะเวลาการทำงาน และความสามารถในการทำซ้ำได้อีกด้วย
เราออกแบบหลอดเปลี่ยนอุณหภูมิแบบอินฟราเรดโดยใช้แหล่งกำเนิดแสงในย่านความยาวคลื่นสั้น เพื่อส่งพลังงานเข้าสู่ชั้นซิลิคอนและชั้นฟิล์มบางๆ โดยตรง ค่าที่เราต้องการคือความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในบริเวณที่มีการอบที่ ±0.1°C โดยมีระบบควบคุมแบบหลายโซน และไม่มีส่วนประกอบของควอตซ์ เพื่อให้สามารถใช้งานได้ในห้องปลอดฝุ่น คุณสามารถใช้งานหลอดเหล่านี้ในระดับ Class 1–100 ได้ และยังสามารถควบคุมปริมาณอนุภาคให้อยู่ในระดับต่ำได้อีกด้วย ความสามารถในการทำซ้ำนั้นยังคงสม่ำเสมอ ไม่ว่าจะเปลี่ยนชุดผลิตภัณฑ์ หรือเปลี่ยนอายุของหลอดก็ตาม ดังนั้นโครงสร้างของชั้นฟิล์มก็จะยังคงเหมือนเดิม
ในกระบวนการลิโธกราฟี การอบด้วยความร้อนแบบอ่อนจะช่วยควบคุมความหนืดของสารและการกำจัดตัวทำละลายได้ ส่วนการอบด้วยความร้อนแบบแข็งจะช่วยรักษาความแน่นหนาของชั้นฟิล์มได้ หลอดของเราสามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำตามที่กระบวนการต้องการ ซึ่งจะช่วยลดการต้องทำงานซ้ำ การอบซ้ำ และการทิ้งชิปที่เสียหายได้ คุณจะได้รับเวลาการทำงานที่แน่นอน และใช้พลังงานน้อยลงต่อชิปหนึ่งชิ้น เนื่องจากมีการเชื่อมต่อที่มีประสิทธิภาพ นอกจากนี้ อายุการใช้งานของหลอดก็ยาวนานขึ้น ดังนั้นคุณจึงไม่จำเป็นต้องเปลี่ยนหลอดบ่อยๆ โครงสร้างการอบที่มั่นคงจะช่วยให้มีความผิดพลาดน้อยลง และช่วยให้ได้ผลผลิตที่ดีขึ้น
สิ่งที่ควรคำนึงถึงเมื่อติดตั้งหลอดเหล่านี้คือ ต้องให้มีความสอดคล้องกับโครงสร้างของห้องปฏิบัติการ ระบบจ่ายไฟ และขอบเขตของสัญญาณรบกวนทางไฟฟ้า/ความร้อน หลอดเหล่านี้มีความสามารถในการเพิ่มอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็ว ดังนั้นคุณจึงต้องจัดวางอุปกรณ์ที่ใช้ในการควบคุมอุณหภูมิให้เหมาะสม เพื่อหลีกเลี่ยงการเกิดจุดร้อนในบางบริเวณ คุณจะต้องมีการปรับอุณหภูมิให้ถึงค่าที่ต้องการในเวลาอันสั้น และควบคุมอุณหภูมิที่ออกมาให้แม่นยำ ควรมีการปรับเทียบหลอดเป็นประจำ เพื่อรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิให้อยู่ที่ ±0.1°C เป็นเวลาหลายพันชั่วโมง