Litografi işlemlerinde, fotoresist işleme sırasındaki termal profiller, müzakere edilemeyecek unsurlardandır. Eğer yumuşak pişirme işlemi doğru şekilde yapılmazsa, çözücülerin buharlaşması istenmeyen yönlere gider. Sert pişirme sırasında oluşan sıcak noktalar ise kritik boyutların deforme olmasına neden olur. Her iki durum da üretim verimliliğini ve işlem sürelerini olumsuz etkiler. Biz de fotoresist pişirme lambalarımızı, tüm waferler için yumuşak pişirme işleminden sert pişirme işlemine kadar termal değerlerin sabit kalmasını sağlayacak şekilde tasarladık.
Önemli olan şeyler
Halogen veya NIR emisyon cihazlarını kuvars optikleri ve kapalı döngülü kontrol sistemleriyle bir araya getirerek, wafer düzeyindeki tutarlılığı ±0,1°C seviyesinde koruyoruz. Böylece her parti için fotoresist kalınlığı ve kritik boyutlar sabit kalır. Temiz oda sınıfları 1–100 ile uyumluluk da tasarıma dahil edilmiştir; düşük gaz salınımı yapan malzemeler ve partikül kontrolü sayesinde proses içinde kirlilik oluşmaz.
Sıfır partikül üretimi sadece bir iddia değildir; bu, filtrelerin sağlamlığı ve odadaki hava akışının düzenli olması sayesinde mümkün olur. Bu sayede 24/7 çalışma durumlarında bile partikül sayısı sabit kalır.
İşte bu yüzden bu sistem üretimde başarılı oluyor. Siz kesintisiz çalışma istiyorsunuz, ayarlamalar değil. Bu lambalar, 5.000 saatten fazla süre boyunca minimum sapmayla stabil bir performans sergiler; böylece planlanmayan duruşlar azalır ve işlem süreleri kısalar. Verimli emisyon cihazları ve hızlı termal tepki, enerji tüketimini azaltırken aynı zamanda pişirme hassasiyetini de korur.
İster maruz bırakmadan önce fotoresistin viskozitesini ayarlamak için yumuşak pişirme işlemi yapın, ister aşındırma işleminden önce deseni sabitlemek için sert pişirme işlemi yapın, aynı lamba platformu her wafer ve her ekipman için tutarlı sonuçlar verir.
Bazı pratik bilgiler
Montaj, kullanılan ekipmana göre değişir. Lambanın odanın boyutlarına, bağlantı arayüzüne ve sıcaklık kontrol sistemine uyumlu hale getirilmesi gerekmektedir. Lamba, odanın yansıtma özellikleri ve soğutma sistemi belirlenen standartlarda olduğunda en iyi performansı gösterir. Bu unsurlara dikkat edilmezse, tutarlılık oranı düşer.
İlk parti ürünlerin tekrar işlenmeden kaliteli olabilmesi için gerekli arayüz detaylarını ve kurulum adımlarını önceden sağlıyoruz.