Isıtma elemanlarının waferyalarınızı mahvetmesine izin vermeyin.
Eğer Class 100 temiz oda koşullarında çalışıyorsanız, bu durumun ne kadar kötü olabileceğini zaten biliyorsunuzdur. Tek bir mikroskobik parça bile wafere düştüğünde, üretim veriminiz aniden düşer.
Sorun genellikle ısıtma elemanlarından kaynaklanır. Standart lambalar, en temiz oldukları anda gaz salar veya küçük parçacıklar üretirler. Biz bu sorunu çözmek için IR lambalarımız için yüksek saflıkta sentetik kuvars kullanmaya karar verdik.
Kuvarsın neden önemli olduğu
Neredeyse hiç safsızlık içermeyen füzyon silikası kullanıyoruz. Neden mi? Çünkü bu sayede lamba, sıcakladığında metal iyonlarını dışarı salmaz veya parçacık üretmez. Kuvars kabuğunu, tungsten telinin sıkıca kapalı olduğu bir yapı olarak düşünün. Ayrıca, basit montajlarda kullanılan organik yapıştırıcıları ve ucuz seramikleri de kullanmıyoruz. Böylece vakum ortamında lambaları çalıştırdığınızda rahatsız edici “duman” veya gaz salınımı olmaz.
Isıyı tam da istediğiniz yerde üretin
Waferya ekipmanlarında hızlı bir şekilde ısınma sağlamak ve tüm yüzey üzerinde sabit bir sıcaklık korumak gereklidir. IR lambalarımız enerjiyi kısa dalga boyunda ileterek silikon tabanına doğrudan ısı gönderir. Bu çok hızlıdır. Ve bu da PID kontrolünün daha hassas olmasını sağlar.
Dikkat edilmesi gereken noktalar ve bunların nasıl çözüleceği
İyi haber şu ki bunlar kolayca değiştirilebilen parçalardır. Montaj braketlerinizle uğraşmanıza veya donanımınızı yeniden tasarlamanıza gerek yoktur. Ancak bu lambalar çok yüksek ısı yoğunluğuna sahiptir. Bu da soğutma sistemlerine büyük bir yük bindirir. Eğer soğutma sistemi yeterince güçlü değilse, lamba aşırı ısınır ve telier erken yanar.
İşlerin düzgün işlemesi için birkaç ipucu:
Her 500 saatte bir yansıtıcının hizasını kontrol edin. Aynanın açısındaki küçük bir değişiklik bile sıcak noktalar oluşturabilir ve bu da tüm üretimi bozabilir. Ayrıca, kuvarsı temizlerken elektronik sınıfı izopropil alkol kullanın. Başka bir madde kullanılırsa cam üzerinde kalıntılar oluşur ve bu durumda tekrar baştan başlamak zorunda kalırsınız.