При використанні технологій упакування 2,5D/3D не залишається жодних можливостей для компенсації теплових змін. Одна лише проблема під час процесу висушування матеріалу, приєднання елементів до плати чи переплавлення мікроэлементів може зруйнувати всю структуру, на створення якої йшли місяці роботи. Ми розробили спеціальний нагрівач для технологій упакування 2,5D/3D, щоб усунути цю проблему.
Що є важливим при експлуатації
Досягається термічна однорідність на рівні візерунка на кремнієвій пластині – ±0,1°C у активній зоні. Також забезпечується стабільність параметрів нагріву протягом усього часу роботи. Елементи короткохвильового інфрачервоного випромінювання забезпечують швидку та ефективну реакцію, а кварцева ізоляція зменшує кількість частинок. Пристрій сумісний з чистими приміщеннями класу 1–100; поверхні та ущільнювачі розроблені так, щоб зменшити кількість частинок під час тривалого нагрівання. Контроль є замкнутим та прозорим; пристрій призначений для використання в процесах нагрівання фоторезисту та інших термічних процедур.
Чому пристрій підходить для виробництва
Забезпечується стабільний процес нагрівання на всій площі кремнієвої пластини та на різних пристроях. Це сприяє стабільності процесу, меншій кількості дефектів та передбачуваним таймінгам виконання завдань. Нагрівач швидко нагрівається та підтримує постійну температуру, що зменшує витрати енергії на одну партію продукції. Надійність пристрою забезпечується завдяки можливості 24/7 роботи; компоненти розроблені для постійної роботи при високих температурах. Технічне обслуговування планується з урахуванням запланованих перерв, а не несподіваних зупинок.
Що стосується інтеграції пристрою
Пристрій легко інтегрується, але потребує окремого джерела живлення та належних каналів для подачі охолоджувальної рідини/газу. Несправні фітинги чи недостатньої щільності проводки можуть знизити ефективність пристрою. Необхідно заздалегідь спланувати механічну конструкцію – термічний зазор від сусідніх елементів має бути мінімальним, а потік повітря – безперешкодним, щоб забезпечити необхідну однорідність температури. Після правильної інтеграції пристрій буде функціонувати як стабільний елемент процесу, а не як ще одна змінна, яку потрібно контролювати.