Як отримати більше тепла на вафери (без марнування енергії)
Коли ви нагріваєте вафери на тележках у чистій кімнаті, кожна одиниця енергії має значення. Найбільшою проблемою є те, що тепло просто зникає безслідно. У більшості випадків інфрачервона енергія навіть не доходить до вафера – вона просто поглинається корпусом тележки.
Саме тому ми використовуємо золото.
Чому саме золото?
Алюміній є стандартним матеріалом, але він не є ідеальним – він поглинає та розсіює занадто багато енергії. Золото ж є інакшим – воно дуже ефективно відбиває інфрачервоне світло назад туди, де воно має бути.
Замість того, щоб витрачати енергію на нагрівання самого корпусу тележки – що насправді не сприяє процесу нагрівання ваферів – шар золота спрямовує це випромінювання прямо на вафер. Таким чином досягається значно більша інтенсивність нагріву, і не потрібно підвищувати потужність обладнання.
Як змусити тепло рухатися
Усе залежить від форми та матеріалу, які використовуються. Ми поєднуємо лампи з високою інтенсивністю інфрачервоного світла з параболічними чи еліптичними відбивачами, покритими золотом.
Це схоже на промінь світла – ми концентруємо випромінювання в вузький промінь, щоб вафер швидше досягав потрібної температури. Крім того, такий дизайн допомагає усунути ті „холодні точки“ на поверхні вафера.
Проблеми
Проблема полягає у тому, що коли тепло концентрується так сильно, краї відбивача стають дуже гарячими. Якщо намагатися підвищити потужність занадто сильно, це може пошкодити елементи лампи. Потрібно знайти баланс між інтенсивністю нагріву та ефективністю роботи тележки. Якщо повітрообмін не належний, тепло накопичується, відбивач може деформуватися, і фокус випромінювання зникає.
Просто підключіть та використовуйте
Ці пристрої призначені для заміни вашого існуючого обладнання. Ви просто підключаєте їх до ваших контролерів, і золото буде виконувати всю роботу. Це простий спосіб отримати більше тепла на вафери, не витрачаючи зайвої енергії.