Làm thế nào để làm khô các tấm wafer MEMS mà không gặp rắc rối?
Khi làm khô các tấm wafer cảm biến MEMS, việc duy trì sự cân bằng trong quá trình làm nóng là vô cùng quan trọng. Bạn cần đủ nhiệt lượng để hoàn thành công việc, nhưng nhiệt lượng đó phải được phân bố đều trên toàn bộ bề mặt tấm wafer. Nếu còn chút hơi ẩm sót lại, hoặc nhiệt lượng không được phân bổ đều, thì tấm wafer có thể bị hư hại. Đó là điều mà ai cũng muốn tránh.
Vì vậy, chúng tôi thiết kế các bộ gia nhiệt sao cho chúng hoạt động trong phạm vi chính xác nhất có thể. Chúng tôi tập trung vào việc nâng nhiệt độ lên nhanh chóng và duy trì nhiệt độ ổn định trên toàn bộ bề mặt tấm wafer.
Về mức công suất
Để làm khô tấm wafer mà không làm hư hại các cấu trúc mong manh của MEMS, chúng tôi chú ý đến mức công suất trên mỗi inch vuông. Mức công suất cao sẽ giúp loại bỏ hơi ẩm nhanh chóng. Nhưng điều quan trọng là nguồn điện phải phù hợp với điện áp của bộ gia nhiệt. Nếu bạn cố gắng dòng điện quá lớn qua bộ gia nhiệt có điện áp thấp, thì bộ gia nhiệt sẽ bị hỏng ngay lập tức.
Duy trì sự sạch sẽ
Trong nhà máy sản xuất bán dẫn, ngay cả một hạt bụi nhỏ cũng có thể gây hại. Chúng tôi sử dụng quartz có độ tinh khiết cao hoặc các lớp phủ gốm để đảm bảo không có bụi nào rơi vào buồng sản xuất. Chúng tôi cũng niêm phong các bộ phận gia nhiệt để ngăn chặn quá trình oxy hóa. Điều này giúp duy trì nhiệt độ ổn định, ngay cả sau hàng nghìn chu kỳ sử dụng. Vì các bộ phận này liên tục co giãn, chúng tôi sử dụng các đầu nối chất lượng cao. Bạn chắc chắn không muốn dây điện bị lỏng trong quá trình sản xuất.
Những thách thức
Các bộ gia nhiệt công suất cao rất mạnh mẽ, nhưng chúng tạo ra áp lực lớn lên hệ thống chân không và hệ thống làm mát. Tăng nhiệt độ sẽ giúp rút ngắn thời gian xử lý, nhưng đồng thời cũng tạo ra áp lực nhiệt lớn lên các mép tấm wafer. Bạn cần điều chỉnh các bộ điều khiển PID một cách cẩn thận để tránh tình trạng nhiệt độ vượt quá mức cho phép. Lưu ý rằng nếu các quạt làm mát không thể xử lý được lượng nhiệt do bộ gia nhiệt tạo ra, thì các bộ điều khiển sẽ bị sai lệch. Để tránh điều này, chúng tôi khuyến nghị sử dụng phương pháp gia nhiệt từ từ. Điều này có thể mất nhiều thời gian hơn, nhưng lại an toàn hơn nhiều.