Trong quy trình in phủ, bước sấy polyimide chính là lúc mà kích thước của các đường dây kim loại được xác định cuối cùng. Chỉ cần nhiệt độ thay đổi 5°C trên bề mặt wafer, kích thước của các đường dây này có thể thay đổi vài nanomet – con số đủ lớn để khiến các đường dây này bị sai lệch. Chúng tôi đã thiết kế những chiếc đèn hồng ngoại dành cho việc sấy polyimide, nhằm loại bỏ yếu tố gây biến đổi kích thước này.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật
Chúng tôi sử dụng các bộ phát hồng ngoại tia ngắn, được điều chỉnh sao cho phù hợp với khả năng hấp thụ ánh sáng của polyimide. Phản ứng nhiệt diễn ra rất nhanh – trong vòng vài giây – và chúng tôi duy trì độ đồng đều của nhiệt độ trên bề mặt wafer ở mức ±0,1°C. Thân đèn được thiết kế sao cho phù hợp với môi trường phòng sạch loại 1–100; chúng được làm từ vật liệu ít giải phóng khí, và thiết kế của chúng giúp ngăn chặn sự xuất hiện của các hạt bụi, từ đó giảm thiểu số lượng khiếm khuyết.
Quy trình sấy photoresist diễn ra ổn định, với độ chính xác cao. Độ ổn định của quy trình này duy trì trong khoảng 2% trong suốt 5.000 giờ hoạt động, và nhiệt độ được kiểm soát chặt chẽ nhờ hệ thống điều khiển vòng khép kín.
Tại sao phương pháp này hiệu quả trong các nhà máy sản xuất
Trong các nhà máy sản xuất với công suất lớn, quy trình sấy polyimide cần được thực hiện trong khoảng nhiệt độ nhất định. Những chiếc đèn này giúp nhanh chóng đạt đến nhiệt độ mong muốn, rút ngắn thời gian sấy, và giúp tiết kiệm năng lượng khoảng 25–35% so với các phương pháp sấy thông thường. Bạn có thể thực hiện các chu kỳ sấy nhanh hơn mà vẫn duy trì được độ chính xác của quy trình, đồng thời giảm thiểu các sự cố liên quan đến quá trình sấy.
Hệ thống này có thể được tích hợp vào các thiết bị hiện có, giúp duy trì độ chính xác của quy trình sản xuất, đồng thời mang lại độ chính xác về mặt nhiệt độ cao.
Các chi tiết kỹ thuật
Việc lắp đặt đòi hỏi phải điều chỉnh sao cho đèn phù hợp với hình dạng của bộ kẹp wafer và độ phát xạ của mặt sau của wafer. Nếu không làm đúng, bạn sẽ gặp phải tình trạng chênh lệch nhiệt độ ở các mép wafer. Đèn cũng hoạt động tốt nhất khi sử dụng với các bề mặt sạch và khô, cùng với môi trường có nồng độ dung môi được kiểm soát chặt chẽ.
Bạn sẽ cần một thời gian ngắn để điều chỉnh độ mật độ năng lượng và thời gian sấy phù hợp với loại polyimide cụ thể mà bạn sử dụng. Một khi đã được điều chỉnh xong, quy trình sẽ diễn ra ổn định – và có thể lặp lại được nhiều lần.