佳能平版印刷用加热灯管

在光刻车间里，所谓的“软烘烤”其实并不是某种“预热过程”，而是一种用于控制线宽的参数。如果温度偏差达到0.5°C，那么曝光量也会随之改变。晶圆上的热点可能会导致缺陷的产生，而这些缺陷在后续的蚀刻过程中依然会存在。佳能的光刻加热器设计的目的就是确保温度始终处于稳定状态，从而保证每一轮曝光的质量。 关...