别让加热元件毁掉你的晶圆了 如果你在操作100级洁净室，那你就知道其中有多糟糕了。只要有一颗微小的颗粒落在晶圆上，产品的合格率就会急剧下降。 问题通常出在加热元件上。大多数普通灯具在需要最纯净状态时，还会释放出气体或杂质。为了解决这个问题，我们选择使用高纯度的合成石英作为红外灯的材质。 为什么石英...

在光刻工序中，90°C的低温烘烤并非仅仅是控制器上的一个设定值而已。它实际上是一道关键的界限——只有遵循这一温度要求，光刻胶的形状才能保持稳定，否则芯片就会变成废品。 如果温度出现0.5°C的波动，就足以导致CD均匀性下降，进而使线宽控制失去精度。在半导体制造领域，温度不仅仅是一种热量指标，更是一...