别让加热元件毁掉你的晶圆了
如果你在操作100级洁净室，那你就知道其中有多糟糕了。只要有一颗微小的颗粒落在晶圆上，产品的合格率就会急剧下降。
问题通常出在加热元件上。大多数普通灯具在需要最纯净状态时，还会释放出气体或杂质。为了解决这个问题，我们选择使用高纯度的合成石英作为红外灯的材质。
为什么石英如此重要？
我们使用的是几乎不含杂质的熔融石英。因为这样就能避免灯具在高温下释放金属离子或杂质。可以把石英外壳看作是为钨丝提供的密封结构。此外，我们还摒弃了那些低质量的有机胶水及廉价陶瓷材料。这样一来，当这些灯具在真空环境中工作时，就不会产生那些烦人的“烟雾”或气体排放现象。它们能更稳定地工作。
将热量精准地传递到需要的地方
在晶圆处理过程中，需要快速提升温度，并确保整个表面的温度都保持一致。我们的红外灯能够将能量集中在短波范围内。这样，热量就可以直接传递到硅基板上，而不会浪费时间去加热周围的空气。这样一来，PID控制就能更加精确。
需要注意的问题及解决方案
好消息是，这些灯具可以直接替代原来的灯具，无需再对安装结构或硬件进行改造。不过，这类灯具产生的热量非常大，这会给冷却系统带来很大压力。如果冷却系统的性能不足以应对如此高的功率，那么灯具的外壳就会过热，从而导致钨丝过早烧毁。
为了确保设备正常运行，以下是一些建议：
每500小时就要检查一次反射镜的对准情况。哪怕只是微小的角度偏差，也可能会造成局部过热，从而毁掉整批产品。另外，在清洁石英时，一定要使用电子级的异丙醇。其他类型的酒精则会在玻璃表面留下残留物，那样就又得重新开始清洗了。