晶圆加工设备用温度传感器
别让加热元件毁掉你的晶圆了 如果你在操作100级洁净室,那你就知道其中有多糟糕了。只要有一颗微小的颗粒落在晶圆上,产品的合格率就会急剧下降。
问题通常出在加热元件上。大多数普通灯具在需要最纯净状态时,还会释放出气体或杂质。为了解决这个问题,我们选择使用高纯度的合成石英作为红外灯的材质。
为什么石英...
用于晶圆的高精度红外传感器
为何我们选择使用红外固化技术来处理无铅芯片 半导体行业正在逐渐摒弃传统的对流式加热方式。我们大多选择使用红外固化技术,这不仅仅是因为符合“环保”或“无铅”的要求——尽管这些也是重要原因。更重要的是,红外固化技术的原理更为科学。
与对流式加热不同,红外固化技术利用的是电磁辐射。它不会干扰空气流动,而...
MEMS传感器晶圆干燥加热器
如何让MEMS晶圆保持干燥,同时避免各种问题 在干燥MEMS传感器晶圆时,需要精准控制温度。虽然需要足够的热量来完成干燥过程,但温度必须保持均匀。如果仍有少量水分残留,或者热量分布不均,就可能导致传感器膜层粘在一起或损坏。这显然是没人希望看到的情况。
因此,我们设计的加热器能够满足极高的精度要求。...
智能传感器封装红外技术
利用智能红外技术减少芯片包装过程中的碳排放
制造半导体产品需要大量能源。在传感器的封装过程中,我们仍然使用传统的对流式烤箱来加热部件。但实际上,大部分能量并没有真正用来加热部件本身,而只是让整个房间变暖而已。
这时,红外技术就派上用场了。红外光可以直接照射到部件上,从而实现更精准、更高效的加热方式...
氢气传感器制造用加热器
阻止玻璃碎片飞溅:保持氢传感器清洁
如果您曾参与过氢传感器的制造工作,那么您一定了解那种糟糕的情况。在设备处于高负荷运行状态时,石英灯突然损坏了。这不仅仅是灯泡坏了这么简单,而是一场灾难——玻璃碎片和化学物质会溅到芯片上,导致整个批次的产品都变得不可使用。这种故障真是令人痛心不已。
灯具为何会损坏...