可持续的制造解决方案

停止为设备外壳加热吧（把热量集中在晶圆上吧） 你是否曾经触摸过生产设备的表面，感觉到其散发的热量？这不仅令人不便，还存在安全隐患。说实话，这种做法其实是一种浪费。 大多数普通的加热元件会将热量四处散发，使得设备的内壁变成巨大的散热器。实际上，你是在为加热机器的框架付费，而不是为加热真正需要加热的部...