微流控器件制造光源

在晶圆处理过程中，微流控通道不会让光刻胶的厚度出现偏差。即使是轻微的温度变化，也可能会导致线宽发生改变。而如果温度控制不当，还会产生残留物，这些残留物日后会堵塞微流控通道。因此，需要一种能够将温度视为真实工艺参数的照射装置，而不是仅凭猜测来控制温度。 我们的微流控制造用照明装置采用了石英外壳包裹的...