光刻胶烘烤灯

在光刻工艺中，光阻处理过程中的温度控制是至关重要的因素，这种控制是无法妥协的。如果软烘烤时的温度出现偏差，那么溶剂的蒸发也会受到影响；而硬烘烤时若出现局部过热现象，就会导致关键尺寸发生变形。这两种情况都会影响产品的良率以及加工时间。因此，我们设计的光阻烘烤灯能够确保从软烘烤到硬烘烤的整个过程中，整...