半导体烤箱加热元件
在晶圆厂车间,光刻胶烘烤不仅仅是“加热步骤”。它本质上就是尺寸控制,简单明了。
软烘烤或硬烘烤温度只要偏离目标2°C,CD(关键尺寸)就会偏离。生产线停产。正因如此,我们设计的炉体加热元件能够以晶圆厂实际要求的精确度维持工艺温度。
技术关键点
我们采用短波红外(IR)灯管,封装在石英管中,因为其响...
红外加热涂装
红外线涂装加热器如何将温暖送到您需要的地方 关于加热大空间的真相是:大多数系统实际上是在加热“空气”,而您只是为此买单。
我们设计的红外线涂装加热器就是为了解决这个问题。它们专注于将热量精准送达您想要的位置。可以理解为“人对热”的精确加热。不再浪费千瓦时电能,不再有冰冷的角落或空荡的天花板,只有集...