手套箱红外加热元件
为什么红外线固化技术适合半导体制造标准 在半导体工厂中,工作的精度要求极高。必须确保干燥和固化过程完美无缺——不能有任何残留物,也不能产生过多的碳排放。 传统的做法是使用对流式烤箱。但说实话,加热空气其实是一种能源浪费。更糟糕的是,这种方式还会危及洁净室的纯净度。 因此,我们在手套箱中采用红外线加...
IP65防护等级的替换式加热元件
为什么我们选择IP65等级的红外元件? 您是否曾经疑惑过,为什么那些老式的浴室加热灯总是在最需要使用的时候出现故障?其实,那是因为这类产品根本无法承受浴室中的高湿度环境。浴室对电子产品的危害极大。 因此,我们选择了IP65等级的红外元件。这样做并不是为了让产品看起来更漂亮,而是为了让水无法进入设备...
半导体烤箱加热元件
在晶圆厂车间,光刻胶烘烤不仅仅是“加热步骤”。它本质上就是尺寸控制,简单明了。
软烘烤或硬烘烤温度只要偏离目标2°C,CD(关键尺寸)就会偏离。生产线停产。正因如此,我们设计的炉体加热元件能够以晶圆厂实际要求的精确度维持工艺温度。
技术关键点
我们采用短波红外(IR)灯管,封装在石英管中,因为其响...