如何让100级洁净室保持清洁状态 如果你正在运营100级洁净室，那么你肯定知道气体释放带来的麻烦。哪怕是来自加热元件的微量颗粒物，都可能毁掉你的半导体晶圆。这真是令人沮丧。大多数普通红外灯根本无法解决这个问题——它们会在高温下失效，进而产生大量微小颗粒物，而这些颗粒物恰恰会出现在你不希望出现的地方...

让我们来谈谈半导体加热器的接线问题以及如何实现环保目标吧。在半导体制造厂中，保持精确的温度控制是一项极具挑战性的任务。如今，随着大家越来越重视碳中和目标，人们的注意力转向了如何有效加热物体——尤其是使用红外线加热系统。不过，这里有个问题：不能随便使用普通的电线。普通的PVC或硅胶电线根本无法承受芯...

在智能工厂中实现精准的温度控制 如果您正在建设面向工业4.0的智能工厂，那么您应该已经意识到，那种“设置好后就不用再管”的传统加热方式已不再适用。数字化生产节奏太过迅速，这种旧方法根本无法满足需求。 传统的电阻式加热方式显然效率太低。因此，我们选择高效的红外线加热系统。这种系统响应速度极快，几乎可...

在红外半导体系统中准确控制温度 如果我们真的想减少半导体制造过程中的能源消耗，那就必须放弃那些旧式的电阻式加热器。采用红外加热才是正确的选择。不过，要想实现节能目标，就绝不能浪费能源。 这时，热电偶就派上用场了。它并非仅仅是机器中的某个组件，而是整个系统的心脏。它能避免昂贵的晶圆被毁掉，同时也能防...

如何让晶圆获得更多热量（同时不浪费能源） 在洁净室中，当用传送车来加热晶圆时，每一分能量都十分宝贵。最令人头疼的问题就是：那些热量竟然白白流失了。通常情况下，红外线能量根本无法到达晶圆上，而是被传送车的外壳吸收掉了。 这就是为什么我们使用黄金的原因。 为什么选择黄金？ 虽然铝是常用的材料，但它并不...

我们设计出这种卤素加热灯，原因只有一个：半导体制造设备无法容忍任何温度上的波动。当晶圆加工过程中需要将温度控制在十分之一度以内时，加热器绝不能是可有可无的部件。它必须能够始终将温度精确地控制在所需范围内。我们的产品完全具备这样的性能，其效果堪比进口设备，但却无需支付高昂的价格。 功率、电压与安装方...

在晶圆厂车间，光刻胶烘烤不仅仅是“加热步骤”。它本质上就是尺寸控制，简单明了。 软烘烤或硬烘烤温度只要偏离目标2°C，CD（关键尺寸）就会偏离。生产线停产。正因如此，我们设计的炉体加热元件能够以晶圆厂实际要求的精确度维持工艺温度。 技术关键点 我们采用短波红外(IR)灯管，封装在石英管中，因为其响...

在线生产中，时钟不会因热漂移而停顿。 在300 mm晶圆厂中，封装填充固化处于工艺的尾端——在凸点制程和倒装芯片焊接之后——产能和良率以秒计，缺陷以微米计。若热剖面发生漂移，可能导致气泡、焊料倒塌或热膨胀系数（CTE）不匹配造成的应力，这些缺陷往往在后期表现为现场失效。当红外(IR)光源性能不足时...