如何让100级洁净室保持清洁状态
如果你正在运营100级洁净室，那么你肯定知道气体释放带来的麻烦。哪怕是来自加热元件的微量颗粒物，都可能毁掉你的半导体晶圆。这真是令人沮丧。大多数普通红外灯根本无法解决这个问题——它们会在高温下失效，进而产生大量微小颗粒物，而这些颗粒物恰恰会出现在你不希望出现的地方。
我们找到了一种解决方法：使用高纯度的合成石英材料，并在其表面涂上金反射涂层。虽然方法简单，但效果很好。
为什么选择黄金呢？
这并非为了外观好看。我们在石英材料的背面涂上一层薄薄的黄金，因为黄金具有极强的红外辐射反射能力——准确地说，能反射大约98%的红外辐射。这样一来，热量就不会四处散失，而是被集中到目标区域。这样不仅不会浪费能源，还能减少空调系统的负荷。此外，无需提高功率就能更快达到所需的温度。
关于玻璃和杂质的问题
我们仍然选择高纯度石英材料，因为廉价玻璃很容易损坏。而石英则能够承受反复的开关操作，不会因为热冲击而破裂。至于黄金涂层，我们是通过真空沉积技术将其固定在石英表面上。因为如果涂层脱落或剥落，硅片上就会留下颗粒物，而这显然是我们最不想看到的情况。这种工艺确保了黄金涂层不会脱落。
如何使用这些灯
这些灯可以直接替换现有的固化及干燥用灯。你可以将它们直接连接到现有的控制器上。不过需要注意的是，要留意其发热情况。由于黄金涂层会将几乎所有的能量集中到前方，因此灯的前端温度会比普通灯高得多。务必确保有足够的冷却装置来防止过高的温度损坏附近的传感器。