在半导体制造工厂中减少碳排放：为何选择无臭氧红外灯是明智之举
如果想要实现半导体制造工厂的碳中和目标，就必须要解决那些导致能源浪费的问题。其中最主要的因素之一，就是加热方式。
大多数短波红外灯会释放出波长小于200纳米的光线。这种光线会将空气中的氧气转化为臭氧。而在洁净室中，臭氧是一种有害物质。因此，为了消除这些有害物质，就需要消耗大量能源来运行空调和净化系统。这无疑是一种能源的浪费。我们找到了一种更好的解决方案。
关键在于过滤器。
我们使用特殊的石英外壳及内部涂层来阻挡那些真空紫外线波段的光线。这样，灯具就能提供所需的加热效果，同时不会产生臭氧。虽然这只是一个小小的改进，但带来的效果却非常显著。因为不必再让空气过滤系统过度工作，而排风系统也不必再消耗大量能源，这样一来，工厂的碳足迹自然就会减少。
快速加热，无额外负担。
使用这类灯具时，无需牺牲加热速度。它们仍能提供足够高的热量，从而满足晶圆烘烤和固化的需求。此外，这类灯具还可以直接替代现有的固化炉，无需对现有设备进行改造。
不过有一点需要注意：要确保电源密度合适。这类高功率灯具会产生大量热量，如果设备无法承受如此高的温度，就可能会导致装置变形。因此，在启用这些灯具之前，务必确认冷却风扇的功率能够满足要求。
让“绿色制造”真正变得可行。
采用无臭氧技术后，就无需再为检测臭氧浓度或设计复杂的通风系统而烦恼了。这不仅减少了加热设备带来的能源浪费，还让整个生产流程更加高效。
通常来说，获得“绿色工厂”认证需要处理大量的文件工作以及进行各种微调。但这种方法则有所不同——它从源头上避免了能源浪费，而不是事后再试图解决本不该出现的问题。