带金质反射器的红外线灯泡
为何我们选择使用金质反射器进行红外固化 在半导体行业中,人们一直在努力追求无铅、环保的制造标准。这听起来很美好,但在实际生产中却存在不少难题。 普通的对流式烤箱根本无法满足需求。它们需要花费大量时间来加热空气,而实际上这些热量并没有真正传递到待加工的部件上。这不仅浪费能源,还可能让晶圆受到污染。...
双管镀金灯管
停止在晶圆加工过程中浪费热量 在加热硅晶圆时,每一瓦特的能量都至关重要。但问题在于:普通的石英灯存在能量泄漏的问题,大量能量从灯的背面和侧面散失掉,这些能量对加工过程毫无帮助。
因此,我们使用了镀金的双管灯。通过在灯管背面涂上高纯度的金层,我们可以让灯变成一个高效的发热源。
为什么选择黄金? 这与...
用于半导体的镀金红外灯
如何让100级洁净室保持清洁状态
如果你正在运营100级洁净室,那么你肯定知道气体释放带来的麻烦。哪怕是来自加热元件的微量颗粒物,都可能毁掉你的半导体晶圆。这真是令人沮丧。大多数普通红外灯根本无法解决这个问题——它们会在高温下失效,进而产生大量微小颗粒物,而这些颗粒物恰恰会出现在你不希望出现的地方...