防止昂贵的设备因过热而损坏 大多数普通的加热元件都会向各个方向散发热量。当这种热量被限制在狭小的洁净室内时，就会导致“热量积聚”的现象。这样一来，昂贵的设备就会不断吸收自身产生的多余热量。结果就是，设备外壳会变得极其烫手，而冷却系统则不得不持续运转以抵消来自加热元件的热量。这不仅浪费能源，还会带来...

在晶圆处理过程中，微流控通道不会让光刻胶的厚度出现偏差。即使是轻微的温度变化，也可能会导致线宽发生改变。而如果温度控制不当，还会产生残留物，这些残留物日后会堵塞微流控通道。因此，需要一种能够将温度视为真实工艺参数的照射装置，而不是仅凭猜测来控制温度。 我们的微流控制造用照明装置采用了石英外壳包裹的...