打破半导体备件成本障碍 我们明白：一旦ASML品牌的灯管损坏，整个生产线就会停止运转。而当从原始设备制造商那里得到报价后，人们往往会感到非常沮丧。 大家都在问：难道真的有国产的红外加热灯可以替代它吗？而且不会破坏机器原有的热平衡吗？ 其实，关键不在于能否装进原来的位置，而在于其物理特性是否与原厂产...

在光刻车间里，所谓的“软烘烤”其实并不是某种“预热过程”，而是一种用于控制线宽的参数。如果温度偏差达到0.5°C，那么曝光量也会随之改变。晶圆上的热点可能会导致缺陷的产生，而这些缺陷在后续的蚀刻过程中依然会存在。佳能的光刻加热器设计的目的就是确保温度始终处于稳定状态，从而保证每一轮曝光的质量。 关...