晶圆加工设备用温度传感器

别让加热元件毁掉你的晶圆了 如果你在操作100级洁净室，那你就知道其中有多糟糕了。只要有一颗微小的颗粒落在晶圆上，产品的合格率就会急剧下降。 问题通常出在加热元件上。大多数普通灯具在需要最纯净状态时，还会释放出气体或杂质。为了解决这个问题，我们选择使用高纯度的合成石英作为红外灯的材质。 为什么石英...