کاهش میزان کربن در فرآیند تولید: چرا لامپهای مادون قرمز با خلوص بسیار بالا واقعاً مؤثر هستند؟
بیایید صادق باشیم: دستیابی به اهداف مربوط به کاهش کربن در فرآیندهای نیمهتمام، کاری بسیار دشوار است. بخش عمدهای از مشکلات در هنگام گرم کردن وجود دارد. اگر هنوز از کورههای سنتی استفاده میکنید، در واقع در حال پرداخت هزینههای زیادی برای گرم کردن کل اتاق، فقط برای گرم کردن یک ویفر کوچک هستید. این کار، هدررفت انرژی بسیار زیادی است.
در همین جاست که لامپهای مادون قرمز با خلوص بسیار بالا میتوانند کمک کنند. این لامپها، به جای گرم کردن همه چیز، گرما را دقیقاً به جایی که نیاز است، یعنی ویفر، هدایت میکنند. شما دیگر نیازی نیست با مشکلات سختافزاری دست و پنجه نرم کنید؛ بلکه میتوانید تمرکز خود را روی محصول قرار دهید.
جزئیات مربوط به گرمایش توسط لامپهای UHP
وقتی از «خلوص بسیار بالا» صحبت میکنیم، منظورمان فقط استفاده از یک واژه تخصصی نیست. ما از کوارتز مصنوعی استفاده میکنیم؛ زیرا این ماده مانع از نفوذ یونهای فلزی به فرآیند تولید میشود. در صنعت نیمههادی، یک یون اضافی میتواند همه چیز را خراب کند؛ بنابراین این گزینه قابل قبول نیست.
ما از تشعشعات مادون قرمز با طول موج کوتاه استفاده میکنیم؛ چرا؟ زیرا این تشعشعات میتوانند به سرعت از پشت سطح ویفر عبور کنند. شما میتوانید دمای مورد نیاز را در عرض چند ثانیه به دست آورید؛ نه دقایق.
البته یک مشکل وجود دارد: برای دستیابی به چنین گرمایی در فضای کوچک، باید انرژی زیادی از طریق پوسته نازک کوارتز ارسال شود؛ این کار باعث فشار زیادی بر روی لامپ میشود. اگر سیستم خنککننده لامپ به درستی کار نکند، فیلامنتهای لامپ خیلی سریع خراب خواهند شد. این یک تعادل حساس است.
نحوه استفاده از این لامپها در کارخانههای شما
ما نمیخواستیم که شما مجبور شوید کل زیرساختهای خود را تغییر دهید تا بتوانید از این لامپها استفاده کنید. این لامپها به گونهای طراحی شدهاند که بتوانند به جای لامپهای قدیمی استفاده شوند. آنها از کانکتورهای استاندارد استفاده میکنند؛ بنابراین شما نیازی نیست وقت خود را صرف تغییر سیمکشیها کنید.
مزیت واقعی این لامپها، کاهش هزینههای انرژی است. استفاده از این لامپها، باعث کاهش مصرف انرژی میشود. سبز شدن، فقط مربوط به منبع برق نیست؛ بلکه مربوط به عدم هدررفت انرژی موجود نیز هست. با استفاده از لامپهای مادون قرمز، میتوانید فقط بخشهای مشخصی از ویفر را گرم کنید، بدون اینکه کل کوره را به حداکثر دما برسانید. این کار، کاهش مصرف انرژی برای هر ویفر را به همراه دارد؛ که سریعترین راه برای کاهش میزان کربن تولید شده است.