בתהליך הליתוגרפיה, הפרופיל התרמי במהלך עיבוד הפוטורזיסט הוא אחד מאותם גורמים שאי אפשר לשנות. אם יש סטיות בתהליך החימום הרך, אז ישנה אידוי לא נכון של החומרים. ואם יש נקודות חם במהלך החימום החזק, אז הממדים הקריטיים של החומר משתנים. כל אלו פוגעים באיכות התוצר ובזמן העיבוד. ייצרנו את המנורות שלנו כך שהן ישמרו על הפרופיל התרמי הרצוי – מהחימום הרך ועד החימום החזק – בכל הוופרים.
מה חשוב באמת? אנו משתמשים בגופי פלורין או גופי קרינה באורך גל אינפרא-אדום, יחד עם אופטיקה מקוורץ ושליטה במעגל סגור, כדי לשמור על אחידות בטמפרטורה של הוופר ברמה של ±0.1°C. התוצאה היא פרופילי חימום עקביים, שמשמרים את עובי הפוטורזיסט ואת הממדים הקריטיים שלו, לאורך כל התהליך. העמידות של המנורות לתנאי חדר נקי מסוג 1–100 כבר תוכננה בתכנון שלהן: חומרים עם פליטה נמוכה של גזים ומערכות שמשמרות על רמת טוהר גבוהה, כך שאין זיהום בתהליך.
אי-ייצור של חלקיקים אינו רק סיסמה – זה תלוי באיכות המסננים ובזרימת האוויר בחדר, כך שהרמת החלקיקים נשארת יציבה, גם במהלך פעולה 24/7.
זו הסיבה שהמנורות שלנו עובדות טוב בייצור. אתם רוצים זמן פעולה רציף, ולא תיקונים. המנורות שלנו מספקות ביצועים יציבים במשך 5,000 שעות ויותר, עם סטיות מינימליות. כך, זמן העצירה הבלתי צפוי פוחת, וזמן העיבוד מתקצר. גופי הפליטה היעילים והתגובה התרמית המהירה מפחיתים את צריכת האנרגיה, מבלי לפגוע בדיוק העיבוד.
בין אם אתם משתמשים בחימום רך כדי לשנות את צמיגות הפוטורזיסט לפני החשיפה, או בחימום חזק כדי לקבע את התבנית לפני החריטה, אותה פלטפורמה של מנורות מספקת תוצאות עקביות – בכל הוופרים ובכל הכלים.
כמה הערות פרקטיות: ההתקנה תלויה בסוג הכלי. יש להתאים את המנורה לגודל החדר, לממשק החיבור ולמערכת השליטה בטמפרטורה. כדאי לבצע בדיקות קצרות עם צוות הציוד שלכם. המנורה תעבוד בצורה הטובה ביותר כאשר הרפלקטיביות של החדר והקירור נשמרים על פי המפרטים הנדרשים; אם לא, האחידות של הטמפרטורה תיפגע.
אנו מספקים את פרטי החיבור ואת שלבי ההגדרה מראש, כך שהמוצר הראשון יהיה מוכן לשימוש מבלי צורך בתיקונים.