מנורה לאפיית פוטורזיסט

בתהליך הליתוגרפיה, הפרופיל התרמי במהלך עיבוד הפוטורזיסט הוא אחד מאותם גורמים שאי אפשר לשנות. אם יש סטיות בתהליך החימום הרך, אז ישנה אידוי לא נכון של...