מפיץ חלקי חילוף לייצור בתעשיית ה Fab

בקו הייצור, מאפשרים לטמפרטורת החימום של הפוטורזיסט להשתנות ב-2°C. כתוצאה מכך, תהליך הליתוגרפיה נפגע. אי-אחידות בטמפרטורת החימום מתבטאת בשינויים ברוחב...