מנורה לייצור מכשירים מיקרו פלואידיים

על משטח הוופר, ערוצי המיקרופלואידיקה אינם מאפשרים שום סטייה בתווית הפוטורזיסט. גם סטייה קלה של מעט מעלות יכולה לגרום לשינוי ברוחב הקווים. במקרה של...