고가의 장비가 스스로 과열되는 것을 막으세요
대부분의 일반적인 가열 요소들은 혼란스러운 구조를 가지고 있습니다. 이러한 가열 요소들은 에너지를 사방으로 방출합니다. 이를 깨끗한 환경 속에 넣으면 “열 축적”이 일어납니다.
결국, 비싼 장비가 자신이 발생시킨 불필요한 에너지를 흡수하게 됩니다. 그 결과, 기계의 외부가 너무 뜨거워져서 만질 수 없게 되고, 냉각 시스템도 계속해서 작동해야 합니다. 이는 에너지 낭비이며, 매우 성가신 문제입니다.
열이 정확히 필요한 곳으로 가도록 하는 방법
이 문제를 해결하기 위해 우리는 방향성이 있는 적외선 램프를 사용합니다. 그냥 일반적인 석영관만 사용하는 것보다는, 반사판과 특수 코팅을 사용하여 열에너지를 웨이퍼나 기판 쪽으로 직접 전달합니다. 광선을 좁힘으로써 적외선 파동이 주변으로 퍼지는 것을 막을 수 있습니다. 그렇게 하면 열이 원하는 곳에 머물게 됩니다. 간단하죠.
제품을 선택할 때 고려해야 할 사항
이러한 램프를 선택할 때는 전력 밀도와 실제로 필요한 냉각 능력 사이의 균형을 고려해야 합니다. 고출력의 단파 램프는 목표물에 즉시 열을 전달할 수 있지만, 전원 공급 장치에 큰 부담을 줍니다. 우리는 보통 석영관을 사용합니다. 석영관은 고온을 견딜 수 있으면서도, 클린룸을 망칠 수 있는 미세한 입자를 방출하지 않습니다.
실제 사용 시의 장단점
가장 좋은 점은, 작업자들이 장비의 외부를 만질 때마다 화상을 입을 위험이 없다는 것입니다. 또한, 기계 내부의 온도가 낮아서 센서나 실링 부품들이 빨리 손상되지 않습니다. 모든 것이 더 오래 견딜 수 있습니다.
하지만 단점도 있습니다. 광선을 좁히면 초점 부분의 온도가 엄청나게 높아집니다. 램프의 위치가 조금이라도 벗어나면, 작업물에 과열된 부분이 생깁니다. 따라서 장착 브라켓이 흔들리지 않도록 반드시 확실히 고정해야 합니다. 효율성을 위해 감수해야 할 작은 대가이지만, 이를 무시해서는 안 됩니다.