열원이 웨이퍼를 망치는 것을 막으세요. 클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 그 고통스러운 상황을 잘 알고 있을 것입니다. 단 하나의 미세한 먼지 입자라도 웨이퍼 위에 떨어지면, 생산 효율이 급격히 떨어집니다. 문제는 대체로 열원에 있습니다. 일반적인 램프들은...

리소그래피 공정에서 90°C의 온도로 부드럽게 가열하는 것은 단순히 설정값에 불과한 것이 아닙니다. 이는 형태를 유지할 수 있는 포토레지스트와 폐기될 웨이퍼 사이의 경계선과 같습니다. 칩 홀더의 온도가 0.5°C만 변해도 CD의 균일성이 저하되고, 선의 굵기 제어도...