포토레지스트 건조 램프

리소그래피 공정에서 포토레지스트를 처리할 때의 온도 프로파일은 결코 타협할 수 없는 요소입니다. 소프트 베이크 과정에서 온도가 변동하면 용매가 비정상적으로 증발합니다. 하드 베이크 과정에서 발생하는 과열 현상도 문제가 되며, 이로 인해 치명적인 크기 오차가 생깁니다....