캐논 리소그래피 히터 전구

팹에서의 소프트 베이크는 단순한 “온도 상승 과정”이 아닙니다. 이는 선폭 제어를 위한 중요한 조건입니다. 온도를 0.5°C만 변경해도 드로즈 윈도우가 변합니다. 웨이퍼 표면의 특정 부분에 열이 집중되면, 그 부분에 결함이 생겨 에칭 과정에서 문제가 발생할 수 있습니...