공장 건조 공정의 에너지 감사

왜 반도체 공장들이 대형 오븐 대신 적외선을 이용하는가? 솔직히 말해서, 대류식 오븐은 효율이 형편없습니다. 대부분의 반도체 공장들은 여전히 거대한 강제환기 시스템을 사용하여 방 전체의 공기를 데워서 작은 웨이퍼만을 건조시키려고 합니다. 이 방식은 매우 느리고 에너지...