왜 펑크 난 램프가 재앙인가? (그리고 그 문제를 어떻게 해결할 수 있는가?) 고부하 환경에서 작업해본 사람이라면 그 스트레스를 잘 알 것입니다. 장비를 최대한 사용하지만, 모든 것이 순조롭게 진행되다가 갑자기 문제가 생깁니다. 적외선 램프가 터지면 단순히 가동 중단...

과열로 인한 손실을 막으세요 고부하가 요구되는 반도체 공장에서 일해본 적이 있다면 그 끔찍한 상황을 잘 알 것입니다. 석영관이 파손되면 정말 엄청난 문제가 생깁니다. 단순히 열이 발생하는 것뿐만 아니라, 유리 조각과 화학 물질들이 웨이퍼 위로 떨어져서 큰 피해를 줍니...

열원이 웨이퍼를 망치는 것을 막으세요. 클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 그 고통스러운 상황을 잘 알고 있을 것입니다. 단 하나의 미세한 먼지 입자라도 웨이퍼 위에 떨어지면, 생산 효율이 급격히 떨어집니다. 문제는 대체로 열원에 있습니다. 일반적인 램프들은...

왜 무연 칩 제조에 적외선 경화 방식을 사용하는가? 반도체 산업은 이제 더 이상 구식의 대류식 오븐을 사용하지 않고 있습니다. 우리 대부분은 적외선 경화 방식으로 전환하고 있습니다. 이는 단순히 ‘친환경적이거나 무연’이라는 규칙을 따르기 위함만은 아닙니다. 그보다는...

MEMS 웨이퍼를 문제 없이 건조시키는 방법 MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 섬세한 균형을 유지하는 것이 중요합니다. 작업을 완료하기 위해서는 충분한 열이 필요하지만, 그 열이 고르게 분배되어야 합니다. 만약 약간의 수분이 남아 있거나, 열이 웨이퍼 전체에 고르게...

웨이퍼가 최종 린스 후 배출되면 시계가 작동하기 시작한다. 건조 사이클이 주저하면 워터마크, 패턴 붕괴, 그리고 노광과 베이크 후 몇 시간 지나서야 나타나는 포토레지스트 결함에 도박하는 셈이다. 이때는 이미 수율이 손실된 상태다. 대량 생산 팹에서는 건조가 수동 단계...