반도체 부품의 비용 장벽을 극복하는 방법 우리는 잘 알고 있습니다. ASML사에서 만든 램프가 고장나면, 온라인 생산이 마비됩니다. 그러고 나서 OEM으로부터 견적을 받으면, 정말 절망스러워집니다. 모두가 궁금해하는 것은, 과연 국내에서 생산된 적외선 가열 램프가 그...

팹에서의 소프트 베이크는 단순한 “온도 상승 과정”이 아닙니다. 이는 선폭 제어를 위한 중요한 조건입니다. 온도를 0.5°C만 변경해도 드로즈 윈도우가 변합니다. 웨이퍼 표면의 특정 부분에 열이 집중되면, 그 부분에 결함이 생겨 에칭 과정에서 문제가 발생할 수 있습니...