MEMS 웨이퍼를 문제 없이 건조시키는 방법 MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 섬세한 균형을 유지하는 것이 중요합니다. 작업을 완료하기 위해서는 충분한 열이 필요하지만, 그 열이 고르게 분배되어야 합니다. 만약 약간의 수분이 남아 있거나, 열이 웨이퍼 전체에 고르게...

왜 반도체 공장들이 대형 오븐 대신 적외선을 이용하는가? 솔직히 말해서, 대류식 오븐은 효율이 형편없습니다. 대부분의 반도체 공장들은 여전히 거대한 강제환기 시스템을 사용하여 방 전체의 공기를 데워서 작은 웨이퍼만을 건조시키려고 합니다. 이 방식은 매우 느리고 에너지...

웨이퍼가 최종 린스 후 배출되면 시계가 작동하기 시작한다. 건조 사이클이 주저하면 워터마크, 패턴 붕괴, 그리고 노광과 베이크 후 몇 시간 지나서야 나타나는 포토레지스트 결함에 도박하는 셈이다. 이때는 이미 수율이 손실된 상태다. 대량 생산 팹에서는 건조가 수동 단계...