왜 무연 칩 제조에 적외선 경화 방식을 사용하는가? 반도체 산업은 이제 더 이상 구식의 대류식 오븐을 사용하지 않고 있습니다. 우리 대부분은 적외선 경화 방식으로 전환하고 있습니다. 이는 단순히 ‘친환경적이거나 무연’이라는 규칙을 따르기 위함만은 아닙니다. 그보다는...

리소그래피 공정에서 90°C의 온도로 부드럽게 가열하는 것은 단순히 설정값에 불과한 것이 아닙니다. 이는 형태를 유지할 수 있는 포토레지스트와 폐기될 웨이퍼 사이의 경계선과 같습니다. 칩 홀더의 온도가 0.5°C만 변해도 CD의 균일성이 저하되고, 선의 굵기 제어도...