지속 가능한 제조 솔루션
장비의 벽면을 가열하는 것을 그만두고, 웨이퍼를 직접 가열해보세요.
팹 장비의 측면을 만져보면 열이 발산되는 것을 느낄 수 있습니다. 이는 성가신 문제일 뿐만 아니라 안전상의 위험도 있으며, 결국은 낭비에 불과합니다.
대부분의 일반적인 가열 요소들은 열을 사방으로 분...
FA브 제조용 예비 부품 유통업체
팹에서는 포토레지스트의 건조 과정에서 온도가 2°C 정도 변동하도록 내버려두면, 리소그래피 공정에 문제가 생깁니다. 부드러운 건조 과정에서의 온도 불균일성은 선의 굵기 변화로 나타나며, 격렬한 건조 과정에서의 불균일성은 불순물 발생과 접착력 저하를 초래합니다. 결국...