왜 IR 경화에 금 반사체를 사용하는가? 반도체 산업은 납이 없고 환경 친화적인 기준을 향해 노력하고 있습니다. 이는 이론상으로는 훌륭해 보이지만, 실제 생산 과정에서는 문제가 많습니다. 일반적인 대류식 오븐들은 부품에 열을 가하기 전에 공기를 데우는 데 너무 많은...

팹에서의 소프트 베이크는 단순한 “온도 상승 과정”이 아닙니다. 이는 선폭 제어를 위한 중요한 조건입니다. 온도를 0.5°C만 변경해도 드로즈 윈도우가 변합니다. 웨이퍼 표면의 특정 부분에 열이 집중되면, 그 부분에 결함이 생겨 에칭 과정에서 문제가 발생할 수 있습니...