지속 가능한 제조 솔루션

장비의 벽면을 가열하는 것을 그만두고, 웨이퍼를 직접 가열해보세요. 팹 장비의 측면을 만져보면 열이 발산되는 것을 느낄 수 있습니다. 이는 성가신 문제일 뿐만 아니라 안전상의 위험도 있으며, 결국은 낭비에 불과합니다. 대부분의 일반적인 가열 요소들은 열을 사방으로 분...