폴리이미드 베이크용 적외선 램프

리소그래피 공정에서 폴리이미드 건조 과정은 섬세한 금속선들의 크기가 결정되는 중요한 단계입니다. 웨이퍼의 온도가 5°C만 변해도 핵심적인 치수가 나노미터 단위로 변할 수 있으며, 이는 금속선의 형태를 망가뜨릴 수 있습니다. 우리는 이러한 변동성을 줄이기 위해 특별히...