웨이퍼용 중파 적외선 히터

300mm 웨이퍼의 경우, 베이크 온도가 0.5°C만 변동해도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 또한 입자가 발생하면 전체 생산량이 망가질 수도 있습니다. 중파 적외선 히터는 이러한 열 변동을 최소화하여, 포토레지스트의 성능을 안정적으로 유지시켜 줍니다. 핵심은...