진공 챔버에서 적절한 온도를 유지하는 방법 산업 4.0을 위한 스마트 공장을 구축한다면, 이제는 구식 아날로그식 가열 방식으로는 충분하지 않다는 것을 알고 있을 것입니다. 실제 데이터가 필요합니다. 챔버 내부에서 무슨 일이 일어나고 있는지 정확히 알아야 합니다. 문제...

진공 상태에서도 적절한 열을 공급하는 방법: 적외선 기술 반도체 웨이퍼를 다룰 때 가장 원하지 않는 것은 먼지나 이물질이 웨이퍼의 품질을 해치는 것입니다. 하지만 그렇다고 해서 열을 공급하지 않을 수는 없습니다. 문제는 진공 상태에서는 공기가 없어서 뜨거운 공기를 주...