반도체 청정실용 트롤리 히터

와퍼에 더 많은 열을 전달하기 위해 (에너지 낭비 없이) 클린룸에서 와퍼를 가열할 때는 모든 에너지가 중요합니다. 가장 골칫거리는, 열이 그냥 사라져버리는 것입니다. 대부분의 경우, 적외선 에너지는 와퍼에 도달하지 못하고 카트의 프레임에 흡수됩니다. 그래서 우리는 금...