300mm 웨이퍼의 경우, 베이크 온도가 0.5°C만 변동해도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 또한 입자가 발생하면 전체 생산량이 망가질 수도 있습니다. 중파 적외선 히터는 이러한 열 변동을 최소화하여, 포토레지스트의 성능을 안정적으로 유지시켜 줍니다. 핵심은...

팹 내에서는 ‘소프트 베이크’와 ‘하드 베이크’가 단순한 열처리 과정에 불과한 것이 아니라, 웨이퍼의 선권과 결함 밀도를 조절하는 중요한 수단입니다. 단 0.5도 정도의 오차만 있어도 웨이퍼의 치수에 영향을 줄 수 있으며, 불순물이 존재하면 전체 공정이 망가질 수도...