팹 화학 캐비닛 히터

팹 내에서는 포토레지스트를 건조시키는 과정이 선택 사항이 아니라 반드시 이행해야 하는 필수적인 절차입니다. 온도가 ±0.5°C만 변동해도 치명적인 결과가 발생할 수 있으며, 단 한 개의 불순물만으로도 웨이퍼가 망가질 수 있습니다. 따라서 화학약품을 보관하는 캐비닛의...