
如何避免您的精密设备变成“烤箱”
高功率红外灯在半导体加工过程中能够提供所需的温度,但它们有个缺点:会将热量散射到各个方向。如果无法将热量引导到正确的方向,设备的内壁就会吸收所有热量。很快,设备的外壳就会变得非常热,甚至可能烫伤操作人员,同时,设备中的敏感组件也可能会因为过热而损坏。真是糟糕的情况。
解决办法就是使用石英玻璃屏蔽罩。
普通红外灯会向四面八方辐射热量。而通过使用精确设计的石英屏蔽罩,就可以像建造了一堵墙一样,阻挡热量的散射。我们选择石英材料,是因为它能够承受高温而不会破裂。即使将石英屏蔽罩放置在距卤素元件几英寸远的地方,它也不会破裂。
这种屏蔽罩的作用就是阻止红外光波照射到设备外壳上,而是让热量集中在需要的位置。这样一来,设备外部就能保持凉爽。
不过,千万不要为了节省成本而使用低质量的材料。
我们坚持使用高纯度的熔融石英。因为当温度发生变化时,这种材料不会变形。如果使用质量较差的玻璃,那么一旦设备达到全功率状态,玻璃就很可能破碎。
另外,安装时还要注意空气间隙的问题。如果屏蔽罩安装得太紧,会导致热量积聚,从而烧毁灯丝;而如果安装得太松,则无法有效引导热量。关键是要找到最佳的平衡点。
这对您的日常工作意味着什么?
一旦安装了这些屏蔽罩,设备内部就不会再有“烤箱效应”了。冷却风扇也不必再那么辛苦地工作,同时,设施中的冷水系统也无需再那么高强度地运转。
不过请注意:石英材料很容易碎裂。在更换灯丝时,只要稍有不慎,就可能需要重新购买新的屏蔽罩。另外,务必戴上手套。因为皮肤上的油脂会在玻璃表面形成热点,从而导致设备过早损坏。